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爪泵的功能特點

發布時間:2018-09-09 10:25:06 來源:admin
爪式真空泵是一種在半導體行業應用非常廣泛的真空泵。第一台爪式真空泵誕生于日本,随着日本半導體行業的蓬勃發張,爪式真空泵的應用量迅速增大。它除了有幹式真空泵腔内無油的共同特點外,還有自己的獨特優點。
 
(1)轉子與轉子之間,轉子與腔體之間存在間隙,沒有摩擦。
 
(2)可以直排大氣,能夠在高壓下長期穩定工作。
 
(3)能夠抽除腐蝕性、劇毒性、放射性和易燃性氣體。
 
(4)壓縮比大,可以達到10~105。(5)對粉塵的耐受性較強。
 
爪型幹式真空泵可以做成單級,也可以做成多級。很多公司都采用爪型轉子與羅茨轉子組合的方式。一般爪泵做前級。它利用了在低壓下羅茨泵的抽氣效率較高,高壓下爪型轉子抽氣效率較高的特點,将這兩種泵各自的優勢匹配起來,組成幹式真空泵。這樣的幹式真空泵适用于真空度達1Pa,含水分子和硬質腐蝕顆粒的半導體芯片,光學通訊設備及平闆顯示器等高科技行業的苛刻工藝流程。在衆多的幹式真空泵中,爪式真空泵備受半導體、光學器件等高科技行業的青睐。
 
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