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渦旋幹式真空泵的特點

發布時間:2018-07-11 16:45:26 來源:admin
随着半導體、生物制藥、新材料制備等行業的飛速發展,傳統的真空獲得技術與設備已經不能滿足實際工況的要求,面臨越來越多的行業對清潔真空的需求,真空獲得設備發展出可以提供清潔無油真空環境的幹式真空泵。
 
所謂幹式真空泵一般指能在大氣壓到10-2Pa及以下壓力範圍内工作、在抽氣流道中不使用任何油類和液體、且能連續直接向大氣排氣的真空泵。幹式真空泵适用于清潔無油真空獲得,工藝過程中存在腐蝕性氣體、有毒氣體、含有顆粒等影響泵油工作性能的工況。
 
幹式真空泵可以分為多級羅茨式、多級爪式、螺杆式、渦旋式等,同時也發展出羅茨+爪式組合式等組合式幹泵機組。作為容積式流體機械,内部氣體的流動過程是幹式真空泵的工作特性,決定了真空泵的性能特征。
 
渦旋幹式真空泵是在渦旋式壓縮機基礎上演化而來的一種新式真空幹泵,是一種容積式真空泵。渦旋幹式真空泵具有以下特點:
 
(1)清潔無油,是中低真空獲得潔淨真空的優秀泵種,同時也是分子泵、低溫泵等超高真空系統獲得潔淨真空的理想前級配泵;
 
(2)體積小、振動小、噪聲小、結構簡單、零部件少;
 
(3)間隙小、洩漏少,具有較高的壓縮比;
 
(4)能在大氣壓下啟動,工作壓力範圍寬,能在較寬的壓力範圍内有穩定的抽速;
 
(5)由于渦旋幹泵壓縮容積的變化是連續的,相鄰各封閉空間内壓差較小,因而驅動扭矩變化小,功率變化小;
 
(6)泵腔内無接觸、無磨損:
 
(7)可靠性高。
 
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